Verbum

ПЛАНА́РНАЯ ТЭХНАЛО́ГІЯ,

сукупнасць метадаў вырабу паўправадніковых прылад і інтэгральных схем шляхам фарміравання іх структур з аднаго боку монакрышт. паўправадніковай падложкі. Грунтуецца на стварэнні ў прыпаверхневым слоі падложкі абласцей з розным тыпам праводнасці або з рознай канцэнтрацыяй дамешкаў, якія ў сукупнасці ўтвараюць структуру паўправадніковай прылады ці інтэгральнай схемы. Забяспечвае выраб у адзіным тэхнал. працэсе вял. колькасці ідэнтычных прылад з высокай узнаўляльнасцю параметраў, высокую прадукцыйнасць і інш.; займае вядучае месца ў тэхналогіі вырабаў мікраэлектронікі.

Асн. аперацыі: нанясенне тонкай дыэлектрычнай плёнкі (звычайна аксіду крэмнію SiO₂) на паверхню крышт. паўправадніка (крэмнію, германію, арсеніду галію); выдаленне пры дапамозе фоталітаграфіі ці электроналітаграфіі пэўных абласцей гэтай плёнкі (стварэнне тэхнал. маскі); лакальнае ўвядзенне ў крышталь праз атрыманую маску донарных ці акцэптарных дамешкаў (легіраванне). Усе вобласці выходзяць на адзін (рабочы) бок падложкі, што дае магчымасць праз вокны ў SiO₂ рабіць іх камутацыю ў адпаведнасці з зададзенай схемай пры дапамозе плёначных метал. праваднікоў. Адрозніваюць планарна-эпітаксіяльную тэхналогію (уключае аперацыю эпітаксіяльнага арыентаванага нарошчвання на паверхню монакрышт. падложкі тонкага слоя крэмнію) і яе ўдасканаленую разнавіднасць — ізапланарную тэхналогію (з павялічанай якасцю ізаляцыі абласцей).

На Беларусі распрацоўкамі ў галіне П.т. і выкарыстаннем яе ў вытв-сці займаюцца ў НВА «Інтэграл».

Літ.:

Технология СБИС: Пер. с англ. К.Н. 1—2. М., 1986;

Сугано Т., Икома Т., Такэиси Ё. Введение в микроэлектронику: Пер. с яп. М., 1988;

Taur У. The incredible shrinking transistor // IEEE Spectrum. 1999. July.

В.​У.​Баранаў.

т. 12, с. 405

ПЛАСТЫФІКА́ТАРЫ (ад грэч. plastos вылеплены + лац. facere рабіць),

1) рэчывы, што павышаюць пластычнасць і (ці) эластычнасць палімераў і матэрыялаў на іх аснове пры перапрацоўцы і эксплуатацыі. Аблягчаюць размеркаванне сыпучых інгрэдыентаў у палімернай матрыцы, зніжаюць т-ру перапрацоўкі палімерных матэрыялаў, некаторыя надаюць ім негаручасць, тэрма-, мароза-, святлоўстойлівасць і інш. спец. ўласцівасці. П., якія аблягчаюць перапрацоўку (зніжаюць т-ру цякучасці гумавых сумесей), але не паляпшаюць марозаўстойлівасць вулканізату, наз. змякчальнікамі. Працэс увядзення П. у палімер наз. пластыфікацыяй. Найб. шырока П. выкарыстоўваюць пры перапрацоўцы пластмас (каля 70% ад агульнага аб’ёму пры перапрацоўцы полівінілхларыду) і эластамераў, вырабе лакафарбавых матэрыялаў.

Асн. агульныя патрабаванні да П. — сумяшчальнасць з палімерам пры ўвядзенні значнай (да 50% па масе) колькасці П., нізкая лятучасць, адсутнасць паху і колеру, хім. інертнасць, устойлівасць да вымывання ў вадкім асяроддзі. Найб. пашыраныя П. — складаныя эфіры араматычных і аліфатычных кіслот (напр., дыбутылфталат), фосфарнай к-ты, нізкамалекулярныя поліэфіры, эпаксідаваныя алеі, змякчальнікі — нафтавае масла, парафіны, каніфоль, прадукты ўзаемадзеяння алеяў з серай (факсіты), нафтавыя бітумы (рубраксы), кумарона-індэнавыя смолы.

2) Паверхнева-актыўныя рэчывы, што дадаюць у буд. растворы і бетонныя сумесі (0,15—0,3% ад масы вяжучага матэрыялу) для надання ім пластычнасці (аблягчэння ўкладкі ў форму) і зніжэння водазмяшчэння. Найб. шырока выкарыстоўваецца сульфітна-спіртавая брага (таварная форма лігнасульфанатаў — солей лігнасульфонавых кіслот), якая паскарае працэс цвярдзення і павышае трываласць бетону.

М.​Р.​Пракапчук.

т. 12, с. 410