ПЛАНА́РНАЯ ТЭХНАЛО́ГІЯ,
сукупнасць метадаў вырабу паўправадніковых прылад і інтэгральных схем шляхам фарміравання іх структур з аднаго боку монакрышт. паўправадніковай падложкі. Грунтуецца на стварэнні ў прыпаверхневым слоі падложкі абласцей з розным тыпам праводнасці або з рознай канцэнтрацыяй дамешкаў, якія ў сукупнасці ўтвараюць структуру паўправадніковай прылады ці інтэгральнай схемы. Забяспечвае выраб у адзіным
Асн. аперацыі: нанясенне
На Беларусі распрацоўкамі ў галіне П.т. і выкарыстаннем яе ў вытв-сці займаюцца ў
Літ.:
Технология СБИС:
Сугано Т., Икома Т., Такэиси Ё. Введение в микроэлектронику:
Taur У. The incredible shrinking transistor // IEEE Spectrum. 1999. July.
В.У.Баранаў.
Беларуская Энцыклапедыя (1996—2004, правапіс да 2008 г., часткова)



