Катоднае распыленне 4/481; 5/513; 9/492
Беларуская Савецкая Энцыклапедыя (1969—76, паказальнікі; правапіс да 2008 г., часткова)
като́дны
прыметнік, адносны
|
адз. |
мн. |
| м. |
ж. |
н. |
- |
| Н. |
като́дны |
като́дная |
като́днае |
като́дныя |
| Р. |
като́днага |
като́днай
като́днае |
като́днага |
като́дных |
| Д. |
като́днаму |
като́днай |
като́днаму |
като́дным |
| В. |
като́дны (неадуш.)
като́днага (адуш.) |
като́дную |
като́днае |
като́дныя (неадуш.)
като́дных (адуш.) |
| Т. |
като́дным |
като́днай
като́днаю |
като́дным |
като́днымі |
| М. |
като́дным |
като́днай |
като́дным |
като́дных |
Крыніцы:
krapivabr2012,
piskunou2012,
prym2009,
sbm2012,
tsblm1996,
tsbm1984.
Граматычная база Інстытута мовазнаўства НАН Беларусі (2025, актуальны правапіс)
като́дный като́дны;
като́дное распыле́ние като́днае распыле́нне.
Руска-беларускі слоўнік НАН Беларусі, 10-е выданне (2012, актуальны правапіс)
ВА́КУУМНЫЯ ПАКРЫ́ЦЦІ,
пакрыцці, нанесеныя на паверхню метал. і неметал. вырабаў у вакууме накіраваным асаджэннем часціц рэчыва. Бываюць метал. і неметалічныя. Наносяцца тэрмічным або электронна-прамянёвым выпарэннем і катодным распыленнем, а таксама іх спалучэннем.
Трываласць счаплення вакуумнага пакрыцця з матэрыялам асновы абумоўлена т-рай асновы, якасцю падрыхтоўкі і ачысткі яго рабочай паверхні, энергіяй часціц, што наносяцца, і інш. Тэрмічнае выпарэнне ажыццяўляецца з дапамогай розных крыніц нагрэву і адпаведных прыстасаванняў у вакууме 1,33·10-1 — 1,33·10-5 Па. Пры электронна-прамянёвым выпарэнні выкарыстоўваюцца электронна-прамянёвыя пушкі, якія генерыруюць электроны з вял. скарасцямі. Адначасовым выпарэннем некалькіх матэрыялаў атрымліваюць шматкампанентныя і шматфазныя вакуумныя пакрыцці. Пры катодным распыленні матэрыял, які наносіцца, «бамбардзіруюць» іонамі розных элементаў. Найб. пашырана катоднае распыленне ў тлеючым разрадзе, які ўзбуджаецца ў аргоне і інш. інертных газах пры ціску 2,66—13,3 Па і напружанні 1—5 кВ. Вакуумныя пакрыцці выкарыстоўваюцца ў машынабудаванні, мікраэлектроніцы, выліч. тэхніцы, фіз. оптыцы.
М.І.Дудо.
т. 3, с. 466
Беларуская Энцыклапедыя (1996—2004, правапіс да 2008 г., часткова)