пакрыцці, нанесеныя на паверхню метал. і неметал. вырабаў у вакууме накіраваным асаджэннем часціц рэчыва. Бываюць метал. і неметалічныя. Наносяцца тэрмічным або электронна-прамянёвым выпарэннем і катодным распыленнем, а таксама іх спалучэннем.
Трываласць счаплення вакуумнага пакрыцця з матэрыялам асновы абумоўлена т-рай асновы, якасцю падрыхтоўкі і ачысткі яго рабочай паверхні, энергіяй часціц, што наносяцца, і інш. Тэрмічнае выпарэнне ажыццяўляецца з дапамогай розных крыніц нагрэву і адпаведных прыстасаванняў у вакууме 1,33∙10−1 — 1,33∙10−5 Па. Пры электронна-прамянёвым выпарэнні выкарыстоўваюцца электронна-прамянёвыя пушкі, якія генерыруюць электроны з вял. скарасцямі. Адначасовым выпарэннем некалькіх матэрыялаў атрымліваюць шматкампанентныя і шматфазныя вакуумныя пакрыцці. Пры катодным распыленні матэрыял, які наносіцца, «бамбардзіруюць» іонамі розных элементаў. Найб. пашырана катоднае распыленне ў тлеючым разрадзе, які ўзбуджаецца ў аргоне і інш. інертных газах пры ціску 2,66—13,3 Па і напружанні 1—5 кВ. Вакуумныя пакрыцці выкарыстоўваюцца ў машынабудаванні, мікраэлектроніцы, выліч. тэхніцы, фіз. оптыцы.
Беларуская Энцыклапедыя (1996—2004, правапіс да 2008 г., часткова)
ДЫЛАТО́МЕТР,
прылада, якая вымярае змены памераў цела, выкліканыя ўздзеяннем знешніх умоў (гл.Дылатаметрыя). Бывае оптыка-мех., ёмістасны, індукцыйны, інтэрферэнцыйны, рэнтгенаўскі, радыёрэзанансны і інш.Найб. важная характарыстыка — адчувальнасць да абс. змен памераў цела.
У оптыка-механічных Д. (адчувальнасць да 10−7см) змены памераў даследаванага ўзору выклікаюць адпаведныя зрушэнні светлавога паказальніка; у ёмістасных Д. (адчувальнасць да 10−9см) — змены ёмістасці калібраванага кандэнсатара; у індукцыйных Д. (адчувальнасць да 10−9см) пры зменах памераў узору змяняецца ўзаемаіндуктыўнасць двух шпуль індуктыўнасці; у інтэрферэнцыйных Д. (адчувальнасць да 10−8см) даследаваны ўзор размяшчаюць паміж аптычнымі пласцінамі і атрымліваюць інтэрферэнцыйную карціну пры асвятленні іх монахраматычным святлом (змены памераў выклікаюць зрушэнне інтэрферэнцыйных палос); у рэнтгенаўскіх Д. (адчувальнасць да 10−6см) вымяраюць змену параметраў крышталічнай рашоткі цела на рэнтгенаграмах; у радыёрэзанансных Д. (адчувальнасць да 10 12см) выяўляюцца змены рэзананснай частаты аб’ёмнага рэзанатара, сценкі якога выраблены з даследаванага матэрыялу.
Дылатометры: а — вадкасны (1 — рэзервуар; 2 — калібраваны капіляр); б — кварцавы (1 — штурхач; 2 — трымальнік; 3 — узор; 4 — награвальнік або халадзільнік).
