мікраінтэрферо́метр

(ад мікра- + інтэрферометр)

прыбор для кантролю дакладнасці апрацоўкі паверхняў, вымярэння таўшчыні плёнак і інш.; спалучэнне мікраскопа і інтэрферометра.

Слоўнік іншамоўных слоў (А. Булыка, 1999, правапіс да 2008 г.)